日本IKC手動型波紋管式直導入機超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 特點介紹

直進機是一種使真空中的設備、設備在保持真空狀態(tài)的情況下從大氣側直線前進的產品。用于升降基板臺、輸送晶圓等。

入江工研的直線送料機有波紋管密封型和磁力密封型兩種類型，并配有手動和自動驅動系統(tǒng)，提供滿足各種需求的產品。

我們的焊接波紋管是內置的，行程標準化為 10 至 200 毫米。

驅動部分密封采用焊接波紋管，因此可用于超高真空領域。

它的結構極其簡單，注重功能，使其體積小、重量輕。手動型設計可承受250℃烘烤溫度。

波紋管式直導入機手動型(ILD-M)

波紋管式直導入機自動型（ILD-A）

波紋管式緊湊型直線送料機（ILC）

日本IKC手動型波紋管式直導入機超高真空用 ILD-34M/ILD-70M/ILD-114M 規(guī)格參數(shù)

ILD-34MILD-70MILD-114M

型號后綴30 50 30 50 100 50 100 150 200 

行程（毫米）30 50 30 50 100 50 100 150 200 

連接法蘭CF34 CF70 CF114 

驅動方式手動的 

泄漏量1×10 -9 Pa?m 3 /s以下 

烘烤溫度250℃ 

主要使用材料SUS304