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日本進口YUTAKA半導體制造用壓力控制設備自由式調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)器L96系列絕壓型

更新時間:2024-05-07      瀏覽次數(shù):335

日本進口YUTAKA半導體制造用壓力控制設備自由式調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)器L96系列絕壓型


L96系列是專為半導體工藝制造氣體設計的具有真空可調(diào)結構的產(chǎn)品。非常適合低蒸氣壓氣體。基本結構為外部金屬密封和焊接接頭規(guī)范,使其成為具有優(yōu)異的外泄漏和顆粒性能的產(chǎn)品。


e-flow 高純度氣體壓力調(diào)節(jié)器旨在用于半導體工廠,是一種提高純度并最大限度地減少外部泄漏、顆粒和死區(qū)的產(chǎn)品。
它用于多種氣體,包括半導體工廠設施的氣瓶柜、連接裝置、閥箱以及設備制造商的集成單元。
該產(chǎn)品具有優(yōu)良的氣密性,非常適合特殊高壓氣體和有毒、腐蝕性的輸送。L系列:對焊接頭、外密封金屬結構的產(chǎn)品。
R系列:閥體旋入式(NPT)規(guī)格、外部軟密封結構的產(chǎn)品。焊接規(guī)范為承插焊。
D系列:將L、R系列與壓力控制部分組合而成的先導結構電子控制壓力調(diào)節(jié)器。
U系列:特殊規(guī)格有機加工主體、對焊規(guī)格,外部密封采用金屬密封結構。

調(diào)節(jié)壓力 -0.1MPa~0~0.2MPa 

承受壓力 22.2MPa(進口側) 

CV值 0.07 

工作溫度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法) 

內(nèi)部容積 5.739cm(不含3個壓力表及接頭) 

大量的 約1.6公斤 



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